穿过制造中心入口的风淋系统,整条产线映入眼帘,一台台设备完成装配调试后,输送至各集成电路先进产线,参与“中国芯”制造。
“它们可是‘中国芯’制造的关键一环!”中国电科下属电科装备北京烁科中科信公司党支部书记、总经理李进指着生产线说,这是我们自主研制的国产离子注入机,是集成电路领域的关键设备。
“在芯片制造过程中,需要掺入不同种类的元素,按预定方式改变材料的电性能。这些元素以带电离子的形式被加速至预定能量并注入至特定半导体材料中,离子注入机就是执行这一掺杂工艺的芯片制造设备。”李进解释。
“它的工作原理是通过电磁场控制高速运动的离子,按照工艺要求的角度及深度以精准完成注入。”李进说,这个难度,不亚于以飞机飞行的速度完成一次侧方位停车。技术总师彭立波连忙补充:“这‘家伙’专业性强、涉及学科多、精密化程度高,极其复杂。”
2.5万个零部件要7×24小时密切配合,让束流时刻保持着特定的高能量,精准地注入硅片的指定区域,不能有一丝卡顿……而这些,还只是离子注入机工程化的“基础套餐”。
集成电路产线上要比实验室的情况复杂得多,要实现极端严苛的要求,科研团队只能一个关卡接一个关卡地闯,其中有一项是实现高温注入——这是集成电路领域的先进工艺之一,需要连续突破关键部件研制及注入工艺达标两项难关,此前在国内无成功研制先例,是半导体制造领域的典型难题。
“时间紧,任务重,我们常常为了实现一个指标,反复验证计算。”李进说,前前后后对整个温控流程进行数十次仿真验证,最终实现了在目标温度下,设备仍能对晶圆均匀吸附,且能够保障高效稳定的传输目标,这项技术已在集成电路产线上得到成功验证。
这就要说到当前芯片应用领域中覆盖面最广的制程——28纳米,这也是离子注入机必须打通的工艺节点。
“28纳米是注入工序中需求最多及生命周期最长的节点,对注入角度、注入剂量精度有严格要求。注入期间,设备软硬件要紧密配合,需根据不同注入区域实时对注入剂量进行调整,稍有偏颇,良率将达不到产线要求。”李进说。
可喜的是,科研团队已连续突破光路、控制、软件等关键模块的核心技术,形成中束流、大束流、高能及第三代半导体等全系列离子注入机产品格局,并实现28纳米工艺全覆盖,保障了“中国芯”的生产制造!
北京正推进“超高清入户行动”,推进有线电视超高清机顶盒全面置换,“计划于6月底完成标清机顶盒的置换目标”。
脂肪组织中隐藏着一群脂肪细胞祖细胞,它们负责制造新的脂肪细胞。更令人惊讶的是,随着年龄的增长,APC还会进化成一种更为强大的“超级工匠”——年龄特异性定型前脂肪细胞(CP-A)。
近日,中国农业科学院农业质量标准与检测技术研究所(以下简称“质标所”)农业环境污染物研究室成功研发出全球首套面源污染智能监测系统。
一位老人站在秧田里,大喊一声“拔秧哦”,弯腰拔起第一把秧苗。众人齐声应和,大声喊:“风调雨顺,五谷丰登。”秧田里,一排人将秧苗拔起,担到打过格子的稻田里,整整齐齐插好。
2024年,全国生态环境质量持续改善,环境安全形势保持稳定,公众生态环境满意度达91.24%,连续4年超过90%。
基本建成国家语言文字大数据中心,初步建成国家关键语料库和国家战略语言资源信息库。
“从农田里找问题,在实验室找答案”——河南大学孙晓教授谈“新农科”人才培养
雨水浸入土壤,导致土壤中的氧气骤减,蚯蚓爬出地面吸取新鲜空气;大雨过后枯枝落叶、微生物等有机物增加,也为蚯蚓提供了更多觅食机会这几天,南方多地降雨。蚯蚓因无专门的呼吸器官,其呼吸依赖皮肤与土壤孔隙中的氧气进行交换,雨水浸入土壤后往往会占据大部分孔隙,导致土壤缝隙里的氧气骤减。
2011年初,团队成员、硕士研究生周何乐子参与塑料及其复合材料数字化成形项目研发。周何乐子和年轻的团队成员没有因此退缩,历经5年攻关,最终攻克了塑料及其复合材料数字化成形的一系列关键智能技术。
早上7点,安徽师范大学生命科学学院教授黄松准时踏进办公室,开始一天的工作。目前,黄汝怡在上海海洋大学攻读蛇类学博士学位,“现在连她导师的办公室都成了她的‘养殖场’”。
4月的鼎湖山,清晨还带着寒意,黄忠良已经走进了林子。1956年6月30日,中国科学院华南植物研究所(中国科学院华南植物园前身)在广东肇庆建立鼎湖山国家级自然保护区,这是中国首个自然保护区,也是唯一隶属中国科学院的保护区。
160年前,欧洲生物学家孟德尔通过杂交实验研究豌豆的花色、果荚颜色等七大性状的遗传变异,发现了遗传学三大基本规律中的两个——分离规律和自由组合规律,奠定了现代遗传学的基础。
新质生产力推动县域经济绿色发展体现在环境保护上,体现在将生态资源转化为就业机会和经济收益上。
体重管理已成为当下我国公共卫生的重要议题。为此,各地应建立中医药适宜技术推广基地,鼓励医院开展体重管理中医药适宜技术培训,推动全民参与、人人受益的体重管理良好局面形成。
4月25日,中国科协印发《中国科协办公厅关于组织推选2025年中国科学院和中国工程院院士候选人的通知》(以下简称《通知》),启动全国性学术团体推选院士候选人工作。
4月23日,在上海张江,中国科学院微小卫星创新研究院将中法天文卫星正式交付给中国科学院国家天文台投入使用。
从“东方红一号”到神舟二十号,55年间,中国航天书写了从地球走向浩瀚宇宙的壮丽诗篇。